应用材料公司推出下一代电子束检测设备具有业内最高的分辨率

摘要：

应用材料公司日前宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM 和3D NAND 工厂得到广泛应用.随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供最高的分辨率和图像质量,同时保持最快的检测速度.

机标关键词：应用材料、电子束、检测设备、检测系统、图像质量、逻辑芯片、检测速度、工厂、分辨率、转向、客户、晶圆、节点、技术

所属期刊栏目：45

分类号：TN3;TP3

在线出版日期：2017-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：60-61