《中国制造2025》设定集成电路设备国产化目标
作为我国实施制造强国战略第一个 10年的行动纲领,《中国制造2025》对于半导体设备国产化提出了明确要求:在2020年之前,90~32 nm 工艺设备国产化率达到 50% ,实现 90 nm 光刻机国产化,封测关键设备国产化率达到50% .
中国、制造、集成电路、半导体设备、国产化率、行动纲领、强国战略、关键设备、工艺设备、光刻机
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U23;TM6
2017-04-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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中国、制造、集成电路、半导体设备、国产化率、行动纲领、强国战略、关键设备、工艺设备、光刻机
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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