半导体产业中重要一环EUV光刻最新进展如何
ASM L 宣称它的Q2收到4台EUV订单,预期明年EUV发货达10台以上.EUV 光刻设备一再延迟,而最新消息可能在2020年时能进入量产,而非常可能应用在5 nm节点.
半导体、产业、光刻设备、应用、延迟、消息、节点、发货、订单
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TN3;TP3
2017-04-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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半导体、产业、光刻设备、应用、延迟、消息、节点、发货、订单
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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