M5111-6/UM型五管软着陆扩散炉研制

摘要：

M 5111-6/U M型五管软着陆扩散炉用于晶体硅太阳能电池片扩散工艺,具有全自动化、高产能、减压扩散等特点,介绍该型号设备结构组成及性能,并给出了工艺结果,结果表明该设备各方面性能均已达到国内领先水平.

关键词：太阳能电池、扩散工艺、减压扩散炉

所属期刊栏目：45

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2017-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34