平行束磁透镜的研究

摘要：

离子注入机单纯的静电扫描造成注入角度的不一,已经不能满足器件性能的一致性要求,所以产生平行的离子束就很重要,为此介绍一种均匀磁场下的平行束磁透镜,可以产生近似平行的离子束;获得离子束的平行度小于0.43°,满足大规模集成电路制造生产线的使用要求.

关键词：磁透镜、平行束、离子注入

所属期刊栏目：45

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2016-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39