硅片上下料设备中精度公差对稳定性影响的分析

摘要：

主要阐述了生产过程中硅片自动化上下料设备的设计精度、装配精度对设备稳定性的影响情况;具体分析了单个机构的精度、公差,机构之间的公差在生产中的影响;总结了相关机构应遵循的精度、公差要求;对其他自动化设备如石墨舟上下料、石英舟上下料设备的研制与提高稳定性、可靠性也有借鉴、指导作用.

关键词：硅片自动化设备、精度、公差、稳定性

所属期刊栏目：45

分类号：TN948.43

在线出版日期：2016-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17