GEM标准在CMP系统上的应用

摘要：

以当代最先进的自动化工厂(FA )走势为依据，结合化学机械抛光(C M P)系统的实际应用需求，提出了解决工业自动化通信协议SEC S\G EM 的应用问题。叙述了G EM 的通信状态、控制状态和实现G EM 的设计思路，并举例说明了G EM 中的消息配方。实践表明，我国自动化设备领域对G EM 的需求是非常迫切的。

关键词：国际半导体设备与材料产业协会的设备通信标准(SECS)、工厂设备通信与控制通用标准(GEM)、化学机械抛光(CMP)、工厂自动化

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2016-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-19