投影光刻机TTL对准原理与故障分析

摘要：

论述了A SM L 公司某型投影光刻机TTL 对准系统的基本原理和主要构成，介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程，结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障，并给出了分析以及解决方法。

关键词：氦氖激光器、同轴对准、投影光刻机

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2016-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32