工业泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用

摘要：

介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用.

关键词：泵、湿法腐蚀清洗、自动供液系统

所属期刊栏目：45

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46