鲁棒控制在高速运动控制中的应用研究

摘要：

半导体封装设备中对运动控制有着较高的要求,尤其对于需要高速运行的设备来说,传统的PID控制已经不能满足要求.研究了高速运动控制下鲁棒控制的应用,系统地介绍了一套H∞鲁棒控制器的设计方法,最后通过仿真及实验的例子验证了鲁棒控制在高速运动控制上的优越性.

关键词：鲁棒控制、H∞控制、高速运动控制

所属期刊栏目：44

分类号：TM301.2(电机)

在线出版日期：2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46