全自动高温湿法刻蚀设备的研制

摘要：

介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺(PSS)及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能.

关键词：图形化衬底、侧边腐蚀、干法刻蚀、湿法刻蚀

所属期刊栏目：44

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：8-12