钨化学气相淀积设备的废气处理改善

摘要：

钨化学气相淀积反应会生成大量的有害副产物,这些有害气体通过尾气处理器处理去除有害成分或改变化学组成.真空排气管道和尾气处理器常常由于粉尘堵塞需要设备停机定期清理,介绍了粉尘堆积的原因和减少粉尘的方法,通过排气管道加热保温、真空泵温度控制、废气处理器改善等方法大幅度延长管道清洗周期、延长真空泵寿命并延长尾气处理器维护周期.

关键词：化学气相沉积、加热带、现场废气处理器

所属期刊栏目：44

分类号：TN304.05(半导体技术)

在线出版日期：2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-7