激光干涉仪转角准直调节

摘要：

概述了激光干涉仪在精密定位设备的应用,依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪转角准直的调节方法.

关键词：激光干涉仪、光路准直、精密测量

所属期刊栏目：44

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2015-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-41