划片机冷却水罩对划切品质影响的研究

摘要：

系统地介绍了划片机的划切原理、冷却水罩对划切效果的影响、以及对划片机的冷却水罩对划切品质影响要素进行分析,并通过改进划片机的冷却水罩的结构提高了划片机的划切品质.

关键词：划片机、冷却水罩、划切品质

所属期刊栏目：44

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2015-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-36,55