PG-300去应力抛光系统的结构设计与优化

摘要：

介绍了集成于减薄抛光一体机中的PG-300去应力抛光系统的主要结构及技术特点,主要包括抛光头主轴部分的正向设计,论述了花键轴的安装结构及调平方法,导向轴的设计安装等.并通过运用有限元软件对该抛光头机架进行受载情况仿真,消除了抛光过程中结构变形对抛光效果的影响,进而在理论和实践两个方面确定了该机架已达到设计要求.

关键词：集成电路制造设备、去应力抛光、主轴、机架

所属期刊栏目：44

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2015-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-30