全自动硅片清洗设备的技术改进

摘要：

全自动硅片清洗设备电气控制是以PLC、触摸屏为核心实现硅片清洗的自动化.介绍了该设备在PLC控制方面的技术改进,包括对机械臂的运动控制方式、工艺适应性以及安全性能两个方面,大大提高了设备的稳定性及安全性.

关键词：硅片清洗设备、技术改进、运动控制方式、工艺适应、安全性能

所属期刊栏目：44

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2015-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26