钯铬合金薄膜型氢气传感器的设计与制作

摘要：

采用钯铬合金做为氢敏材料,设计制备了集成铂薄膜加热器和测温器的氢气传感器.对不同环境温度下温度补偿后氢气传感器的响应特性进行了测试,测试结果表明铂加热器和测温器可消除环境温度对氢气传感器的影响;并研究了不同补偿温度下氢气传感器的响应特性,结果表明,随着补偿温度的升高,传感器吸氢速率和脱氢速率增加.

关键词：钯铬合金、薄膜、氢气传感器

所属期刊栏目：44

分类号：TN451(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,34