全自动湿法刻蚀系统在PSS制程中的应用

摘要：

介绍了图形化蓝宝石衬底的工艺制程,以及湿法刻蚀的工作原理,针对图形化蓝宝石衬底湿法刻蚀过程中的难点,最大程度上提高全自动湿法刻蚀系统的温度控制以及安全防护功能,使得全自动湿法刻蚀系统在图形化蓝宝石衬底的制备过程中发挥最大优势.

关键词：湿法刻蚀、图形化蓝宝石衬底、全自动

所属期刊栏目：44

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2015-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-29