一种用于预估MOCVD工艺结果的改进方法

摘要：

Apriori算法是关联规则中的一种典型算法.该算法结构简单,以递归统计为基础,采用逐层搜索的方式对大量数据进行提取,挖掘数据记录之间的关联规则.针对Apriori算法产生候选记录集过多的问题,提出了一种改进方法减少候选记录集的组合个数.一项MOCVD工艺包含了流量、压力、温度等多种实时数据,数据量庞大,根据改进方法对MOCVD工艺中所产生的实时数据以及操作记录进行分析、挖掘出这些数据记录之间的关联关系;然后根据MOCVD工艺结果,判断这些关联关系对MOCVD工艺的影响,并作为下一次工艺数据编辑的依据.

关键词：Apriori算法、MOCVD、关联规则、候选记录集

所属期刊栏目：44

分类号：TN304.05(半导体技术)

在线出版日期：2015-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：10-14,23