立体端面光刻工艺研究

摘要：

立体端面的特种器件,要求在其单侧或者双侧表面光刻出有位置要求的图形.针对这一特种器件的要求,研制了一种可适应立体端面基体的对准工作台及楔形误差补偿机构,并根据立体端面的物理特性,在旋转涂胶法的基础上,研制了适应其涂胶工艺的装夹机构,通过工艺实验,验证了该光刻工艺的可行性.

关键词：立体端面、楔形误差补偿、涂胶、光刻工艺、曝光分辨率

所属期刊栏目：44

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2015-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：23-28