多晶硅铸锭工艺的优化与分析

摘要：

多晶硅铸锭生长过程的微晶、位错、隐裂等缺陷严重影响铸锭得料率,通过对多晶硅铸锭过程的研究,分析了控温偶温度、隔热笼提升高度对铸锭工艺的影响.结果表明,对控温偶温度及隔热笼提升高度的优化可以明显消除微晶,改善位错、隐裂等缺陷,显著提高铸锭得料率.

关键词：半导体设备、多晶铸锭、定向凝固、优化工艺

所属期刊栏目：44

分类号：TN304.053(半导体技术)

在线出版日期：2015-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-12,32