离子注入技术与设备常见故障分析

摘要：

介绍了离子注入技术的特点及其原理,在分析介绍其设备种类的基础上,简要概述了离子注入设备的基本结构,详细分析了影响注入工艺的各种因素,根据多年的设备维护经验,总结归纳了离子注入机的常见故障,并提出了各种故障的处理措施.

关键词：离子注入、离子束、束流、聚焦与扫描

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2015-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-29