一种激光直写式光刻光路系统

摘要：

针对曲面栅网器件的光刻工艺,提出了一种可动态调焦的激光直写式光刻系统,该系统将紫外激光器的光束经过整形扩束、动态z向调焦、x/y振镜、聚焦等单元使器件上相应位置涂覆的光刻胶直接感光,再经过显影、刻蚀等工艺直接制作出相应器件. 它可以应用到一些精度要求不太高的平面或非平面器件的光刻加工工艺, 取代传统的使用掩模版的光刻工艺或其它的加工工艺.

关键词：动态调焦、直写式、光刻

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2015-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-20,49