双面光刻机运动控制系统设计分析

摘要：

针对双面光刻机运动控制需求，提出模块化的设计方案，重点分析了对准工作台PID 调节方法，实现了高动态响应、高精度运动控制。

关键词：双面光刻机、运动控制、PID 控制

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2015-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-35