先进的FOGALE测量技术为中国半导体产业助力

摘要：

法国FO G A L E N anotech创立于1983年，是一家致力于高精确度非接触式感测设备研发的公司，其产品在航空、车辆、医学、生化及民生领域有着广泛的应用。在半导体及M EM S生产的晶圆减薄、临时键合、高深宽比的TSV 三维集成、M EM S器件测量、三维尺寸度量的解决方案中，凭借其领先的光学及电容量测及享有专利的T SV 单点一次性量测技术提供有效的量测和在线工艺控制、成为众多全球领先的客户在3D IC 与M E M S 生产领域的合作伙伴。《电子工业专用设备》杂志编辑有幸对FOGALE半导体部门的副总裁GillesFRESQUET 进行了采访，了解FOGALE 公司对中国市场的战略部署。

机标关键词：测量技术、中国、半导体、量测技术、工业专用设备、战略部署、生产领域、三维集成、三维尺寸、民生领域、临时键合、晶圆减薄、解决方案、合作伙伴、工艺控制、高深宽比、非接触式、精确度、专利、应用

分类号：TV8;TV1

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：52-53