非平面直写式光刻电控系统的研究

摘要：

阐述一种非平面直写式光刻的电控系统、工作原理及组成，通过高效的控制方法，提高控制精度，实现工艺要求。

关键词：非平面直写式光刻、振镜扫描、PID 算法、伺服系统

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：46-51