直拉单晶炉减薄型加热器的数值模拟与实验分析

摘要：

在直拉单晶炉中使用一种减薄型加热器替代原加热器，改变了单晶炉的热场温度分布。通过有限元模拟分析软件对减薄型加热器进行模拟分析，模拟结果指出减薄型加热器对提升单晶拉速、降低单晶炉功耗具有促进作用。通过对比两种加热器装料量，并进行单晶生长对比实验，实验指出，减薄型加热器在引晶、等径、收尾阶段均降低了功耗，提升了拉速。最后，数据分析指出减薄型加热器的经济性比原加热器有一定提升。

关键词：减薄型加热器、数值模拟、对比性实验、经济性分析

分类号：TF806.1(有色金属冶炼)

资助基金：天津市青年基金项目12JC Q N JC 01700:低缺陷、高均匀性直拉硅热场和工艺优化模拟的研究。

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：26-31