六项半导体设备被评为2014年度的中国半导体设备创新产品

摘要：

2015年1月28日中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子报在北京共同举办了“第九届（2014年度）中国半导体创新产品和技术评选”活动。申报的12项半导体设备经评选委员会13位专家按照评选条件进行了综合评价，6项半导体设备被评选为2014年度中国半导体创新产品。

机标关键词：半导体设备、中国、行业协会、评选、创新产品、电子专用设备、综合评价、工业协会、电子材料、委员会、专家、申报、技术、活动、北京

分类号：S51;S12

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：10-21,31