450 mm（18英寸）晶圆计划踩煞车ASML：现阶段已无必要性

摘要：

荷商微影设备大厂A SM L 在2012年提出的“客户联合投资专案”(C ustom er C o-Investm ent Program )，广邀台积电、英特尔(Intel)和三星电子(Sam sung E lectronics)三家半导体大厂投资入股研发450 mm 晶圆机台和极紫外光(EUV)机台，不过，现在整个半导体产业链对于450 m m 晶圆世代的来临已无急迫需求，研发资金会以300 m m （12英寸晶圆的 E U V 机台为主，450 m m 晶圆计划已紧急踩煞车。

机标关键词：英寸、晶圆、半导体、投资入股、三星电子、联合投资、大厂、紫外光、英特尔、产业链、资金、专案、圆机、设备、客户

分类号：F83;F24

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：44-45