全自动硅片清洗设备的多线程软件设计

摘要：

介绍了硅片的全自动单片湿法工艺设备的基本结构，重点阐述了此设备的控制逻辑及优化方案。在软件的开发过程中，采用多线程设计，提高了设备的生产效率和可靠性。

关键词：自动化、硅片、湿法、多线程

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：38-43