小型化MEMS陀螺仪标定平台的设计

摘要：

基于角速率转台体积大、结构复杂、标定范围小、移动性差等现状，设计了一种标定范围广的小型化M EM S 陀螺仪标定设备，在此基础上提出了一种角速度积分标定方法，通过将陀螺仪电压信号积分值与实际转动角度进行线性拟合，从而求得陀螺的标度因数。实验表明，该系统标定原理简单可靠，并且标定精度取决于角位置精度和角位移量，降低了对角速度精度的要求，从而大大减小了设备体积和设计难度。

关键词：MEMS 陀螺仪、标定设备、标度因数、伺服系统

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2015-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-6,14