基于工位自控制的全自动单片清洗设备的软件设计

摘要：

为了更好的控制全自动单片清洗设备,通过研究设备的结构和运行流程,提出了一种基于工位自控制的方法实现设备自动运行的软件设计,使各工位并行运行,提高了运行效率.

关键词：半导体设备、自控制、单片清洗、软件设计

所属期刊栏目：44

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2015-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42