非接触间隙检测

摘要：

基于光的分振幅干涉原理，用激光做光源，自行设计了用于接触或接近式曝光工艺中掩模板与基片间的间隙均匀性检测装置，通过实际运用，达到理想效果。

关键词：非接触、光的干涉、间隙检测

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2015-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：33-35