基于广度优先搜索的晶粒扫描方法

摘要：

介绍了晶粒扫描技术和广度优先搜索算法，研究了使用广度优先搜索算法进行晶粒扫描的应用条件和编程实现方法。该方法需要CCD 系统一次识别9颗晶粒，扫描过程中不走空位，有助于提高设备的效率。

关键词：广度优先搜索、晶粒、扫描

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44