双离子束溅射镀膜机的维修性分配和预计

摘要：

分析了双离子束溅射镀膜机的设备原理、功能层次，参照《G JB/Z 57维修性分配与预计手册》中的相关要求，根据各部件的故障率和维修经验数据，对双离子束溅射镀膜机进行维修性分配与预计。

关键词：双离子束、溅射镀膜机、维修性分配、维修性预计

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：33-37