软着陆闭管扩散炉几个关键控制单元的设计与应用

摘要：

为了适应太阳能电池生产的新工艺需求，提出一种新型的软着陆闭管扩散炉系统，为扩散炉系统向智能型、精密型的方向发展进行有益的探索，并阐述了软着陆闭管扩散炉系统的结构组成和工艺原理以及技术指标，重点对扩散炉系统中送料装置软着陆单元、炉门自动封闭单元以及炉管压力平衡单元的电气控制部分进行了详细的分析，其中运用了上下位机与PLC 结合的控制方式对送料装置软着陆、炉门自动封闭进行了设计，运用PID 控制方式对炉膛内压力进行控制，使其达到平衡。

关键词：扩散炉、压力平衡控制、旋转炉门、软着陆

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：23-28,49