半导体设备视觉清晰化技术研究

摘要：

在蓝宝石衬底的LED 生产工艺中，对半导体设备的显微镜成像清晰程度提出了很高的要求。以国内多家LED 大型生产厂商的工艺为实验蓝本，针对多种清晰化方案进行了比对，进而提出一种基于图像处理的清晰化方案，并具有高度的实时性，可行性，可靠性，鲁棒性。

关键词：蓝宝石、蓝宝石衬底、视觉清晰化、LED 工艺

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,37