划片机运动性能对划切工艺的影响

摘要：

通过对砂轮划片机的架构和工作原理研究，分析了 X 电机速度震动对崩边的影响，Y 电机的比例、积分、微分调节对切割位置的影响，阐述了 Z 轴向电机测高的机理以及对整机的影响。结合工艺划切验证，减小了不良运动特性，减少了设备可能存在的隐患，改善设备的划切效果。

关键词：划片机、PID 调节、反馈、测高

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2014-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：32-36