承载器残余真空分析

摘要：

承载器作为化学机械平坦化设备的关键部件，其性能直接决定了晶圆抛光的质量。以实验的方式，分析了承载器吸附晶圆的残余真空效应，并提出了消除残余真空的方法。

关键词：化学机械平坦化、承载器、残余真空

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：22-25,31