太阳能级单晶炉热场的适应性改造研究

摘要：

在JRDL-900型太阳能级单晶炉上安装自行设计的350mm(14英寸)密闭式热场，替换原有的500mm(20英寸)热场，使该单晶炉具备了半导体级75～150mm(3～6英寸)常用硅单晶的生长条件。根据单晶炉实际情况，重新设定了单晶生长控制程序，实现半导体级硅单晶等径生长自动控制。在拉晶实验过程中，发现并解决了影响单晶生长的设备和技术问题，成功实现了半导体级100mm(4英寸)硅单晶的生长，对单晶成品的相应参数测试表明，使用该类太阳能级单晶炉，通过炉体和热场的改进，能够实现半导体级产品的生产，可有效利用闲置设备和资源，并为今后该类型的大规模改造和生产奠定了技术基础。

关键词：太阳能级单晶炉、密闭式热场、半导体级硅单晶

分类号：TF806(有色金属冶炼)

在线出版日期：2014-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21