多线切割工艺断线问题的分析

摘要：

在多线切割工艺中，镀铜金属线对硅单晶切割片的质量有着重要影响，成为多线切割工艺需要控制的重要辅料。断线问题一直是困扰多线切割工艺人员的主要问题之一，一直得不到有效的解决，从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析，并给出相应的解决措施。

关键词：硅、钢线断线、多线切割、钢线破断力

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2014-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-16,65