液态源可控蒸发输送系统

摘要：

在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺.如:在太阳能电池PN结制程中,掺杂用的液态磷源、液态硼源,以及在湿氧氧化工艺中使用的蒸馏水;在光电子、微电子行业中,化学气相淀积设备(CVD)使用的HM DSO、TEOS、SiHCl3等.实验数据显示,这些液态源的输送对各种掺杂、氧化、淀积工艺的质量具有很大影响.对液态源输送的技术现状进行阐述,分析了现有技术的特性和缺点,并结合未来工艺对装备要求的趋势,在此基础上提出了一种液态源可控蒸发输送系统.

关键词：液态源输送、扩散炉、氧化炉、化学气相淀积

分类号：TM615(发电、发电厂)

在线出版日期：2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-30,58