单晶炉保温与热屏优化的数值模拟与改造

摘要：

改进CG6000型单晶炉的热场,增加下保温碳毡和上保温罩,改一段式导流筒为三段式导流筒.通过CG sim模拟软件的晶体生长模拟,对比了改进前与改进后的热场,模拟分析指出改进后热场加热功率降低,熔体温场改善,晶体、熔体轴向的温度梯度均升高,拉晶速率提升.通过单晶生长实验,验证了热场功率的降低和等径拉速的提高,改善在等径生长的后期更为明显.

关键词：直拉单晶炉改造、三段式导流筒、保温碳毡、保温罩、数值模拟

分类号：TF806.9(有色金属冶炼)

资助基金：天津市青年基金项目12JC Q N JC 01700:低缺陷、高均匀性直拉硅热场和工艺优化模拟的研究

在线出版日期：2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24