涂胶显影机的产能设计

摘要：

涂胶显影机的产能设计是一个重要部分,通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数等核心参数的设计,有效地配置工艺处理模块的数量及位置、工艺传递晶圆的速度及路线,搭建出目标机台内的工艺模块组成架构,确定出目标机台内的各个机器人技术参数,满足与光刻机联线生产的量产涂胶显影机对产能的技术需求.

关键词：机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项02专项2012ZX 02102

在线出版日期：2014-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-10,14