手动引线键合设备夹持台解决方案

摘要：

引线键合是半导体器件最早使用的一种互联方法，多年来一直在努力克服可靠性、可制造性及成本方面存在的缺点。因为手动键合器件的多样性，夹持台是手动键合设备中变化最为多样的部件。介绍了手动键合设备针对不同器件的夹持台解决方案。

关键词：手动键合、手动键合设备、夹持台、热夹持台、冷夹持台

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31