移动式硅片退火设备的研制

摘要：

对硅片退火设备的结构及功能进行了大量的改进，介绍了设备的工作原理、结构特点及达到的技术指标。研究了硅片在真空炉中的退火工艺。该设备的研究提升了硅片退火处理的稳定性及工艺性，达到了工艺要求的效果。

关键词：硅片、退火、真空炉

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-18,31