离子注入机质量分析器线包温度场研究

摘要：

利用有限元分析软件对离子注入机线包的温度场进行了数值计算，发现4个60匝50 m m高的线圈即可产生所需磁场。同时对处于水冷板与铜线圈之间的绝缘树脂的厚度和导热系数对线圈温度场的影响进行了研究，发现绝缘树脂厚度的增加会使线圈温度急剧升高，而选择高导热系数的绝缘树脂可以显著降低线圈温度。因此需要在制作线包时要严格保证树脂厚度，同时尽量选取导热性能好的绝缘树脂。

关键词：分析器、温度场、数值计算

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：湖南省自然科学基金资助项目14JJ2142

在线出版日期：2014-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-15,48