刀体破损检测技术在划片机中的应用

摘要：

介绍了应用于半导体全自动晶圆划切设备中的刀体破损检测方法,在理论分析与计算的基础上制定检测方案,通过大量数据分析与处理,设计出抗干扰性强的数字滤波器,降低了系统误报率,提高了设备稳定性,保证了划切质量.

关键词：刀体破损检测、光纤传感器、实时检测、晶圆

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2014-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40