非接触式预对准系统及控制技术研究

摘要：

高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件.介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆心算法.之后针对带切边晶圆片的切边方向定位算法进行了分析归纳,总结出完整的切边定位算法.

关键词：预对准、圆心校正、切边校正

所属期刊栏目：43

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2014-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：18-22,32