提高探针台测试效率的方法研究

摘要：

分析探针台的自动测试流程，从减少运动次数和时序重合两方面提出了几种提高探针台测试效率的方法，说明其实现原理，并用实际测试的数据，证明这些方法对效率确有提高。

关键词：探针台、自动测试、效率

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2014-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-27,38